荒船 良男

この代理人が出願した発明- 3839件

• 表面検査装置

  【課題】凹凸を有する被検査物の表面の比較的広範囲の傷等の情報をその全範囲においてピントが合った状態で的確に検出することが可能な表面検査装置を提供する。【解決手段】凹凸を有する被検査物Ｗの表面Ｗｓに光を照射し、該表面Ｗｓでの反射光...
  出願人・権利者：株式会社レイテックス 発明2009063419号

• テレセントリック光学系の自動光軸補正方法、自動光軸補正テレセントリック光学装置及び露光装置

  【課題】光軸の捩れによる像移動を自動的に補正するテレセントリック光学系の自動光軸補正方法、自動光軸補正テレセントリック光学装置及び露光装置を提供する。【解決手段】無限遠補正された一対のレンズ系５，６によって構成されるテレセントリ...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007036038号

• 露光パターン形成方法

  【課題】光源アレイ、ファイバ及びファイババンドルの汎用性を高めると共に、露光パターンの形成工程を簡単化して製造コストを低減する。【解決手段】光源８が縦横に並設された光源アレイ４と、入力側端部の各々が光源８の各々に１対１で光学的に...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007036039号

• 表面検査方法

  【課題】試料表面の凹凸を高速かつ高精度に検出することを可能とする表面検査方法を提供する。【解決手段】ウェーハの表面状態を検査する表面検査方法に、ＤＭＤ４における所定位置から光を投射して所定の照射開口角によりウェーハＷの表面上を照...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007114087号

• ウェーハ外周検査装置

  【課題】 ウェーハ外周部の面取り部の短時間で且つ的確に検査し得るウェーハ外周検査装置を提供すること。【解決手段】 検査位置にてウェーハ外周部の外周方向の一部にレンズを介して光を照射し、ウェーハを載置した回転テーブルを回転させ...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007024528号

• 表面検査装置及び表面検査方法

  【課題】基板に反り、うねり又は厚みムラがある場合でも、基板上に形成された凸部の高さを正確に検出することを可能とする表面検査装置又は表面検査方法を提供する。【解決手段】基板の表面の一方向に沿って並設された凸部の高さを検査する表面検...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007024623号

• 露光用照明光源の形成方法、露光用照明光源装置、露光方法及び露光装置

  【課題】 露光むらの発生を抑制することができる露光用照明光源の形成方法、露光用照明光源装置、露光方法及び露光装置を提供する。【解決手段】 複数の半導体レーザダイオード１からの光を互いに合成して露光用照明光源とするにあたり、前...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007027188号

• ウェーハ外周検査方法

  【課題】 ウェーハ外周部の面取り部の短時間で且つ的確に検査し得るウェーハ外周検査方法を提供すること。【解決手段】 検出位置を前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部の２つに設定してその上半部及び下半部に対応して照明光学系及び結像...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007047010号

• 海面処分場の遮水構造及び遮水工法

  【課題】覆土等によって遮水シートにかかるせん断力を減じて遮水シートの変形を軽減し、安全で施工性のよい海面処分場の遮水構造を提供する。【解決手段】海面処分場の法面を有する底面の少なくとも法面部分上に、遮水シート及び保護材を有する多...
  出願人・権利者：東洋建設株式会社 発明2008284551号

• 球面検査方法及び球面検査装置

  【課題】 対象物の一定曲率を持つ表面を短時間で且つ的確に検査し得る球面検査方法及び球面検査装置を提供すること。【解決手段】 照射光学系として、物側焦点面が球面部に沿うように該球面部と同一曲率で湾曲し、且つ前記物側焦点面のほぼ...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007285876号

• 露光装置及び露光方法

  【課題】装置の安定化及び小型化を図りつつ、オートフォーカスを精密かつ高速に行うことを可能とする露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】露光装置１に、ＤＭＤ９を備え、基板２の表面にフォーカス用明暗パターンを照射する投光光学系３...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2007317862号

• 露光装置及び露光方法

  【課題】簡易な装置構成により露光分布を均一にすることを可能とする露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】画像データ作成部１８で作成した画像データに基づき、ＤＭＤ２に形成した画像パターンを基板上に照射する露光装置１において、Ｄ...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2008028099号

• 露光方法及び露光装置

  【課題】パターンエッジを滑らかに露光することができる露光方法を提供すること。【解決手段】露光領域における各々の空間光変調素子に位置的に対応する画素を複数のサブ画素に２次元的に区分した上で所望露光パターンを設定し、各々の前記画素に...
  出願人・権利者：株式会社ナノシステムソリューションズ 発明2008112093号

• 円板体外周検査装置

  【課題】検査時にウェーハが水平方向や垂直方向に急速に変位しても、受光装置のフォーカス位置が合い、受光装置のフォーカス位置がずれることなく観測ポイントが視野中心に合った状態を維持することが可能な円板体外周検査装置を提供する。【解決...
  出願人・権利者：株式会社レイテックス 発明2009085766号

• 光照射装置及び円板体外周検査装置

  【課題】円板体の外周部が水平方向や垂直方向に急速に変位しても、光照射装置からの照射光の焦点が外周部の表面やその内部の位置に合った状態を維持することが可能な光照射装置を提供する。【解決手段】円板体Ｗの外周部の表面Ｗｓに光を照射する...
  出願人・権利者：株式会社レイテックス 発明2009121911号

• 角度計算方法及び角度計算システム

  【課題】輪郭角の角度値を効率よく、且つ高精度に算出できる角度計算方法及び角度計算システムを提供すること。【解決手段】角度計算システムによって実行される角度計算方法であって、カーネル関数を含む積分変換を用い、前記積分変換により所定のマグ...
  出願人・権利者：株式会社レイテックス 発明2010019567号

• 表面検査装置

  【課題】設置環境に変動が生じても、表面形状の測定を高精度に行う。【解決手段】表面検査装置１に、保持部材２（把持部２ａ）と、光学部材６０と、表側第１光源１１と、表側第２光源１２と、ミラー３０と、コリメータレンズ４０と、ミラー５０と、ハー...
  出願人・権利者：株式会社レイテックス 発明2010060539号

• 玉縁縫いミシン

  【課題】経済性を損なわず、両流しの玉縁縫いを可能とする。【解決手段】ミシンモータ１６で上下動を行う左右一対の針棒７２と、両針と片針駆動を切り替える片針切り替え機構（７５，７９）と、載置台１１上の身頃生地Ｃと玉布Ｔを保持する一対の...
  出願人・権利者：ＪＵＫＩ株式会社 発明2009034253号

• ロボットシステム制御装置

  【課題】冗長な自由度のロボットシステムの動作範囲を拡大しつつ適切に動作を行う。【解決手段】ロボット１０と旋回装置２０を備えるロボットシステム１と、その教示点を入力する教示点入力装置３７と、動作開始点と教示点とを正射影して求まる二...
  出願人・権利者：株式会社不二越 発明2009034741号

• 塵芥収集車

  【課題】塵芥重量計測のためのロードセルの取付構造を複雑化、大型化することない簡単な構成として車高の増加を抑えつつ実現する。【解決手段】本発明に係る塵芥収集車２は、荷箱フレーム１０に両端部が略水平方向に突出するように支持され、その...
  出願人・権利者：富士重工業株式会社 発明2009035426号

• 水中土砂攪拌装置

  【課題】簡単な仕組みで攪拌効率を向上させることが可能な水中土砂攪拌装置を提供する【解決手段】水中サンドポンプ１１の下部に配置された吸込口１２、吸込口を上方及び側方から覆うように設けられた土砂拡散防止カバー２１、及び水底の土砂を攪...
  出願人・権利者：水中開発株式会社 発明2009035948号

• ドレン穴及び導入溝付きノズル翼の製造方法

  【課題】ロストワックス精密鋳造により、セラミック中子を必要とせずに、安くて性能の良いドレン穴及び導入溝を備えるノズル翼の製造方法を提供する。【解決手段】ノズル翼１に吹き付けられる蒸気中の水滴分離除去用のドレン穴３と、このドレン穴...
  出願人・権利者：ＪＵＫＩ会津株式会社 発明2009036119号

• ＦＰＣ実装構造及びＦＰＣ

  【課題】二軸ヒンジ部に二枚重ねで巻き付けるＦＰＣに加わる負荷を軽減して断線を防ぐことを可能にするＦＰＣ実装構造を提供する。【解決手段】二つの筐体を折り畳み自在に連結する第一のヒンジ軸３１と、この第一のヒンジ軸と直交する軸線回りに...
  出願人・権利者：株式会社カシオ日立モバイルコミュニケーションズ 発明2009038153号

• 出力調整方法、シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法、及びサセプタ

  【課題】シリコン基板とサセプタとの温度差をシリコン基板全面にわたり略均一にするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法と、それに用いられるサセプタとを提供する。【解決手段】第１サセプタ１３として、シリコン基板Ｗを載置する面に複数...
  出願人・権利者：信越半導体株式会社 発明2009038294号

• 音声出力装置、音声データ再生システム及び電池管理方法

  【課題】電池内蔵の複数のスピーカ装置において、いずれかのスピーカ装置の電池寿命が尽きたことによる音質バランスの低下及び無駄な電池消費の防止を図ること。【解決手段】電池２１６を備え、当該電池２１６からの電力供給により駆動されるスピ...
  出願人・権利者：株式会社ケンウッド 発明2009038434号